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Semiconductor Quartz

半導体製造を支える高精度石英部品

TOCHANCEは、高純度石英材料と高精度加工技術を融合し、半導体製造装置向けの石英部品を提供しています。リング、ベルジャー、チャンバー、ノズル、ボートなど、多様な部品の試作から量産まで対応し、安定した品質と信頼性でお客様の製造プロセスを支えます。

半導體向け石英製品

12インチ石英ボート（360 × 170 × 210 mm）
石英微細穴加工プレート
石英ねじ加工品（φ10 × φ19.25 × L185.2 mm）
石英プレート加工品（439 × 251 × t15 mm、最大深穴 251 mm）
石英ガスノズル
石英穴加工プレート（59 × 39 × t10 mm）
石英微細穴加工プレート（六面加工・最小穴径 φ0.3 mm）
石英瓦片 308x69x3mm
石英曲面プレート（308 × 69 × t3 mm）
石英加工リング（φ152 × φ30 × t29 mm）
石英フォーク（322.8 × 237 × t6.2 mm）
石英リング（φ467.85 × φ364.65 × t19.78 mm）
石英加工リング（φ290 × φ196.4 × t16.05 mm）
石英リング（φ206 × φ160 × t5 mm）
石英ヒーター（146 × 152 × 382 mm）
石英微細穴加工品（最小穴径 φ0.4 mm）
石英ボート（360 × 170 × 210 mm）
石英ガスノズル

技術的な課題、
私たちと一緒に解決しませんか？

精密加工の専門家が、お客様の仕様に合わせた最適な素材選定と設計をご提案いたします。小ロットの試作から量産まで、お気軽にご相談ください。