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半導体産業

半導体産業

エッチング、薄膜、リソグラフィ、拡散プロセスにおける重要消耗部品を供給し、マイクロメートル級の公差と高清浄度要件を満たします。

Etch & Deposition Process Components

ドライエッチング・成膜装置用部品

  • ＃Focus Ring / Edge Ring / Single Ring / Cover Ring
  • ＃Isolator Ring / Shield Ring / Top Ring
  • ＃Showerhead (Porous Plate)
  • ＃Top Liner / Middle Liner / Bottom Liner
  • ＃Carrier Ring / Shadow Ring / Insert Ring
  • ＃Electrostatic Chuck (ESC)
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Thermal & Cleaning Process Components

熱処理・洗浄プロセス部品

  • ＃Quartz Boat / Quartz Tank
  • ＃Quartz Tube (Support 8" & 12")
  • ＃Process Tube / Burning Tube
  • ＃Lift Pin / Guide Pin / Quartz Fin Pedestal
  • ＃Quartz Manifold Cover / Torch Chamber
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TFT-LCD 液晶パネル

  • G7.5代線大型石英基板 (G7.5対応 大型マスクベース)
  • 複眼透鏡 Fly-eye (フライアイレンズ)
  • 負圧光罩 / 真空吸著組件 (真空吸着マスクホルダー)
  • 第一反射鏡与最終鏡 (ファーストミラー / 最終レンズ)
  • EUV 清洗機専用合成石英 (EUVクリーナー用合成石英ガラス)
  • Array / Cell 段真空觀景窗 (クォーツビューポート)
  • UV 固化製程用激光片 (UV硬化プロセス用フィルタ)
  • 加熱爐専用大型石英管 (OVENプロセス用大型石英管)
  • 設備専用石英支撐棒
  • 客製化特殊光譜組件

FPDプロセス向け大サイズキャリアと高平坦度加工により、大型精密部品の厳しい要求に応えます。

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光学・光電

  • サファイア光学窓
  • 精密レンズ治具
  • ガスレーザー用ウィンドウガラス
  • 光学フィルター
  • 蒸着源用石英基板

提供廣域光學透過率與雷射設備應用之精密光學元件。

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実験・研究設備

  • Test Tube
  • Beaker
  • Crucible
  • Reaction Tube
  • Furnace Tube
  • Annealing Tube

支持小量試作 (Prototype Support)。対応高温・高圧・強腐蝕等極端実驗環境。

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導入実績と価値創造

弊社の精密加工技術が、複数の業界顧客の生産効率と製品品質の向上に貢献。最先端設備と熟練の技術力で、お客様の価値創造をサポートします。

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20%

単位コスト削減

精密加工技術の導入により、歩留まり向上とコスト最適化を実現しました。

15%

歩留まり向上

精密加工技術の導入により、歩留まり向上とコスト最適化を実現しました。

技術的な課題、
私たちと一緒に解決しませんか？

精密加工の専門家が、お客様の仕様に合わせた最適な素材選定と設計をご提案いたします。小ロットの試作から量産まで、お気軽にご相談ください。

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