熱処理・洗浄プロセス部品

Quartz Boat / Quartz Tank

熱処理・洗浄プロセスで用いられる石英ボートおよび石英タンクです。高温下での寸法安定性と高純度を両立し、ウエハの汚染を防ぎます。

Process Tube / Burning Tube

拡散炉・酸化炉向けの石英管です。長時間の高温使用に耐える肉厚設計と、内壁の高い清浄度で安定したプロセスを支えます。

火加工と冷加工の統合により、複雑な石英構造部品をワンストップで供給します。