Semiconductor Ceramics

半導体用セラミックス

TOCHANCEは、高純度アルミナやジルコニアなどのファインセラミックス材料と高精度加工技術を融合し、半導体製造装置向けの精密セラミックス部品を提供しています。優れた耐熱性・耐摩耗性・電気絶縁性を備え、過酷な製造環境でも安定した性能を発揮します。

セラミックス部品

  • セラミックガスインジェクター

  • ベルヌーリアーム

  • 高精度セラミックウエハ搬送アーム

  • ジルコニア加工品

  • カスタム磁気式搬送アーム

可提供最大尺寸為Φ850mm圓板、800*960方板

石英管材
石英板材
石英棒材
石英環
石英筒
石英加工：火加工、冷加工、CNC異型加工
適用於高潔淨度、高溫製程、高壓製程、電漿製程、真空製程、強酸鹼、高腐蝕環境。

半導体、光通訊、ディスプレイ、太陽光発電など

技術的な課題、
私たちと一緒に解決しませんか？

精密加工の専門家が、お客様の仕様に合わせた最適な素材選定と設計をご提案いたします。小ロットの試作から量産まで、お気軽にご相談ください。

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